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基于高比表面积的纳米结构模板,采用先进的沉积工艺在纳米尺度调控敏感材料的种类和尺寸, 我司研发了针对TVOC、氧气、臭氧、可燃气体等一系列新型大阳城集团娱乐游戏,具有高灵敏、低功耗、使用寿命长、小型化、测量电路简单等优势。
Rs=不同浓度气体中的传感器电阻值
Ro=清洁空气中的传感器阻值
图2.传感器对异丁端气体响应随温度变化特性曲线
图3.干燥条件下,传感器连续5次5ppm异丁端气体响应与恢复曲线
图1.干燥空气下,H2响应曲线及抗干扰能力
图2.不同温度下,H2响应曲线
图3.极端条件加速老化后,H2响应曲线
图1.60%相对湿度下,传感器阻值随臭氧浓度的响应与恢复曲线
(左图为我司臭氧传感器原始数据,右图为浓度参考曲线)
图2.室外长期监测中,传感器电阻值原始数据曲线与智能校准浓度曲线( 上图中黑色曲线为49IQ臭氧分析仪测得的参考浓度 )
图1.60%相对湿度下,传感器对1000-20000ppm甲烷的响应与恢复电阻曲线
图2.60%相对湿度下,传感器对甲烷的气体响应关系曲线及器件间差异范围( 蓝色曲线为响应最佳器件,粉色曲线为响应最小器件 )
图3.60%相对湿度下,传感器对连续8次1000-20000ppm甲烷响应的长期设定性
新型纳米大阳城集团娱乐游戏
1、特征
三维纳米大阳城集团娱乐游戏具有高灵敏度低功耗的特点， 利用传感器阵列及人工智能算法实现多气体识别， 优点包括寿命长、成本低等特点。
2、应用范畴
主要用于环境污染性及危险性气体的低浓度高灵敏监测。 可实现多种气体的同步实时监测，极大降低传感器成本， 适合大规模使用，实现对环境气体网格化无盲点的监测覆盖。
3、性能优势
本公司所研发的三维纳米大阳城集团娱乐游戏的功耗远低于市面上的金属氧化物大阳城集团娱乐游戏， 同时保持了媲美电化学大阳城集团娱乐游戏的高灵敏度； 三维纳米大阳城集团娱乐游戏构成了阵列可实现多种气体的同时监测， 克服了传统传感器选择性低与易受干扰性气体及温湿度影响的缺点， 极大降低现有大阳城集团娱乐游戏的成本。
五大创新性
三维气体纳米传感器的制备
高灵敏度：基于高比表面积的三维多孔阳极金属氧化物基底， 大大提高了单位体积内气敏材料与待测气体的接触面积， 同时利用气体分子在纳米尺度孔内的克努森扩散， 实现气体分子与气敏材料的充分碰撞与接触， 实现室温或近室温下超高的灵敏度。
低功耗：与传统金属氧化物大阳城集团娱乐游戏相比， 无需保持较高的工作温度， 从而大幅降低加热器的功耗。
高效的集成化微型加热板
高集成度： 微型加热板直接集成在三维气体纳米传感器的背面，降低了工艺复杂度
超低热损耗： 利用微纳加工技术，大幅缩小微型加热器的面积， 同时由于金属氧化物具有较高的热传导率且远远高于周围的空气， 可将热量集中于气敏传感区域，减少了热耗散。
传感器阵列的高度集成
高传感器密度： 通过在单块多孔纳米基底上沉积不同的金属氧化物、 进行多种金属颗粒的修饰或采用不同功函数的金属电极， 可快速制备有差异性的传感器像素，并实现单基底上的阵列封装。
人工智能分类算法的使用
多气体识别功能： 传感器阵列中不同传感器对于气体的响应不同， 利用人工智能识别算法可从大阳城集团娱乐游戏阵列的响应模式中提取特征信息， 实现对包括干扰性气体在内的不同气体的分类与识别，并排除干扰性气体对目标气体的影响。
温湿度补偿功能： 利用校准算法对传感器响应进行温湿度补偿，实现在变温与变湿环境下的持续高精度探测。
微型空气监测站
小型化： 受益于高度集成化的高灵敏三位大阳城集团娱乐游戏阵列，微型空气站可在较小体积的条件下满足对低浓度污染性气体的探测。
云端数据可视化： 空气监测站的数据可无线上传至云端服务器，并实现实时及历史数据的可视化展示。
污染预警及联动平台： 通过对网点化微型空气监测站数据的多维度分析，及时发现气体浓度异常及污染超标情况， 并通过联动平台将污染发生的时间与空间信息通知相关部门，启动精准化的污染治理手段。
传感器制备封装流程
根据城市空气环境中的常见的污染性气体及周边工厂排放的气体，进行气体的成分以及浓度进行分析， 据此开发基于纳米结构的高灵敏度大阳城集团娱乐游戏。 如下图所示，本产品采用纳米多孔阳极氧化铝基底，利用原子层沉积技术，制备金属氧化物纳米管，提高对于低浓度室内目标气体的响应。
同时，采用多种金属与有机物催化剂修饰等方法进一步提高传感器的灵敏度，并通过差异性的响应制备大阳城集团娱乐游戏阵列。 利用MEMS芯片封装技术，将基于纳米结构的大阳城集团娱乐游戏阵列与微型加热板进行封装。 通过上下电极对传感器进行读取，同时利用独立加热板将各传感器加热至各自匹配的最适加热温度。 并通过脉冲式加热，进一步提高传感器恢复速度。
技术实现依据
如下图所示，基于三维阳极氧化铝的室温高灵敏度大阳城集团娱乐游戏， 此前已由香港高校教授团队实现，并发表于国际知名期刊ACS Nano上。
项目团队可在单片阳极氧化铝基底上集成12个传感器，并实现室温下对氢气的超高灵敏度探测， 功耗仅为12.5微瓦，为传统器件的一千分之一。 配合人工智能算法，可实现对氢气、水、苯和二氧化氮的识别。
此外项目负责团队在制备大阳城集团娱乐游戏方向具有丰富的经验，更多相关研究成果在国际知名期刊发表，包括：
《美国化学协会纳米》（ACS Nano 7.10 (2013): 9318-9324）
《传感器与执行机构，B辑：化学传感器》（Sens, & Actuators B: Chem. 206 (2014): 764-771）
《IEEE电子器件快报》（IEEE Electron Device Letter 37 (2016): 92-95）
《IEEE传感器快报》（IEEE Sensors Letters 1 (2017): 2000204）